微观装置的制造及其处理技术
  • 一种基于AFM加工的表面增强拉曼基底的制备五分时时彩方法与流程
    本发明属于拉曼基底制备,具体涉及一种基于AFM加工的表面增强拉曼基底的制备五分时时彩方法。拉曼检测为无标记检测,具有检测快速、廉价和简便的优点,能够通过特定的相互作用位点探测选定的分子。表面增强拉曼散射技术(SERS)通过提高金属纳米结构表面等离子体共振的方式来提高拉曼检测信号,在生物医学、...
  • 一种可大量制备二元超晶格乳液球的五分时时彩方法与流程
    本发明属于无机材料,具体涉及一种可大量制备二元超晶格乳液球的五分时时彩方法。多组分无机胶体纳米晶颗粒共组装可以制备出具有新形貌以及具备新性能的超结构材料,在生物标记与成像、能量转化与存储、光电器件等方面都有广泛的应用。其中,二元超晶格材料具有丰富可调的形貌,同时能够结合多种具有不同功能的纳米...
  • 一种微纳双模检测加工模块的制作五分时时彩方法
    本发明涉及一种微纳双模检测加工模块。MEMS及NEMS的发展应用促进了微纳领域的技术创新,目前主流的微纳加工工艺包括光学及电子束曝光、聚焦离子束加工、LIGA等,但是由于加工材料单一、设备复杂、昂贵,技术难以突破,限制了国内微纳产业的发展。尽管传统的“宏”机械制造技术无法满足微纳加工需求,...
  • 一种具有微纳米形态模具的加工五分时时彩方法与流程
    本发明涉及模具加工,具体为一种具有微纳米形态模具的加工五分时时彩方法。目前,许多的电子产品、汽车等的零件都是通过模具生产出来的,模具作为机械加工领域的重要元素,由于其在生产加工成本方面的优势,已经日益成为产品、零件加工生产的首选。模具,简单地说,就是用来成型产品或零件的工具。根据成型产品的不...
  • 一种通过局部外加应力调控微纳米级机电开关的五分时时彩方法与流程
    本发明涉及一种通过局部外加应力调控微纳米级机电开关的五分时时彩方法,其属于微纳米器件领域。:随着微电子工艺的不断进步,单个芯片上的器件集成密度越来越高,在能够实现同样功能的前提下,微型化、小型化正逐渐成为硬件的发展趋势。因此微纳米级器件的研究已经成为目前的前沿和热点。为了满足器件微型化的发展需求,近...
  • 互补式金氧半微机电麦克风及其制作五分时时彩方法与流程
    本发明涉及一种麦克风的制作技术,且特别涉及一种互补式金氧半微机电麦克风及其制作五分时时彩方法。在过去的三十年中,互补金属氧化物半导体(CMOS)已广泛用于集成电路(IC)的制造。由于大量的研究人力和投入,集成电路的发展和创新取得了突飞猛进的发展,显著提高了其可靠性和产量,同时,生产成本大幅降低。目前...
  • 微型气动/液压驱动器及其加工五分时时彩方法与流程
    本发明涉及MEMS(Micro-electromechanicalSystems,微机电系统)、微型医疗器械、微型机器人、微型光学器件、神经假体等,尤其涉及一种微型气动/液压驱动器及其加工五分时时彩方法。在MEMS系统中使用的微驱动器受限于驱动原理(压电、静电、电热、电致伸缩、相变等)、材...
  • 柔性器件缓冲层及其制备五分时时彩方法与柔性器件与流程
    本发明涉及柔性器件,特别涉及一种柔性器件缓冲层及其制备五分时时彩方法与柔性器件。柔性器件的衬底大多采用聚酰亚胺(Polyimide,PI)或者聚萘二甲酸乙二醇酯(Polyethylenenaphthalate,PEN),但是这种衬底有很多缺点,比如对氧气、水蒸气的阻隔性能差;不耐高温,使用...
  • 一种MEMS传感器的封装五分时时彩方法与流程
    本发明涉及MEMS,尤其是涉及一种MEMS传感器的封装五分时时彩方法。机器人中使用的触觉传感器,它是使用单晶硅作为结构材料,同时使用半导体应变计检测施加压力的大小。这是一种能够连接到机器人指尖的小型高性能传感器,它使得机器人能够执行复杂的装配任务,并且能够在不能使用视觉传感器的环境(如,黑暗...
  • 用于制备掺杂的碳纳米材料的五分时时彩方法和系统与流程
    本专利文件的公开内容的一部分含有遵从版权保护的材料。版权所有者不反对任何人如出现于美国专利商标局专利文件或记录中那样拓制本专利公开,但在其他方面保留全部版权权利。优先权本申请要求2017年2月21日提交的美国临时申请第62/461,641号的优先权,所述申请通过援引完全并入本文。本发明主要...
  • 一种利用硅纳米线模板制备银纳米棒阵列结构材料的五分时时彩方法与流程
    本发明属于纳米材料制备五分时时彩方法,特别涉及一种银纳米棒阵列结构材料的制备五分时时彩方法。银纳米棒阵列具有优异的活性与独特的光学性能,是设计和构建新型纳米器件的基础材料。近年来,利用银纳米棒阵列结构制备具有“热点”效应的高活性表面增强拉曼散射基底材料受到研究人员的广泛关注。银纳米棒阵列的常见制备五分时时彩方法...
  • 功能材料定位生长五分时时彩方法与流程
    本发明涉及功能材料在特定位置生长,特别涉及一种于基底上形成功能材料单晶阵列的功能材料定位生长五分时时彩方法。功能材料是指通过光、电、磁、热、化学、生化等作用后具有特定功能的材料,具有优良的电学、磁学、光学、热学、声学、力学、化学、生物学功能及其相互转化的功能,是一种被用于非结构目的的高技术材...
  • 一种高深宽比中阻P型宏孔硅结构及其快速制备五分时时彩方法与流程
    本发明属于电化学腐蚀与硅微结构制备领域,具体涉及一种高深宽比中阻P型宏孔硅结构及其快速制备五分时时彩方法。P型宏孔硅是指使用电化学腐蚀法在P型单晶硅上制备出的孔径在50纳米以上的多孔结构。因宏孔硅具有大的孔径和高的深宽比值,好的均匀性,优异的吸附性,被广泛应用于二维光子晶体,MEMS器件的牺牲...
  • 一种高深宽比微纳结构及其制作五分时时彩方法与流程
    本发明涉及非金属结构工艺制造领域,特别是涉及高深宽比结构的制备。在光学、航空航天、医学等领域,高深宽比结构的元器件得到越来越多的应用,需求量也日益增加。其中,准直器是应用于氢原子钟的一个微小器件。粒子如果不加约束则会杂乱无章的运动,准直器则会对运动的粒子施加束缚,形成稳定的粒子流。...
  • 半导体装置封装及制造其的五分时时彩方法与流程
    本公开涉及一种半导体装置封装,所述半导体装置封装包含包封物和半导体装置,所述包封物的表面低于所述半导体装置的表面。一种半导体装置封装可包含限定空穴(或媒体端口)的半导体装置。在制造半导体装置封装的过程期间,封装材料(例如,模制化合物/包封物)或其它污染物可能流入空穴中。发明内容在一些实施例...
  • 能量收集装置和传感器及其制造和使用五分时时彩方法与流程
    本发明所公开的技术整体涉及能量收集装置和传感器及其制造和使用五分时时彩方法。振动能量收集是捕获来自外部振动源(例如车辆、机器、建筑物和人体运动)的振动能量的实践。然后,所捕获的能量可用于各种应用。在某些振动能量收集五分时时彩方法中,一个板固定在一端,当它被激发时,将在两个末端之间上下振动。通过在两个末...
  • 一种镶嵌功能材料微纳孔结构及其制备五分时时彩方法和使用五分时时彩方法与流程
    本发明涉及一种镶嵌功能材料微纳孔结构及其制备和使用五分时时彩方法,可用于生物领域,光学领域。:基于表面等离激元共振及表面增强拉曼的镶嵌功能材料的微纳孔在化学生物领域的分子过滤、微颗粒及DNA检测、在光学领域的拉曼散射,增强荧光等有着广泛的应用前景。传统的微纳孔结构都是孔道内和孔外的材料都是一样的,即...
  • 真空环境下晶圆低温键合五分时时彩方法与流程
    本发明涉及一种键合五分时时彩方法,尤其是一种真空环境下晶圆低温键合五分时时彩方法,属于晶圆键合的。晶圆键合技术是微系统封装的基本技术之一,已经成为微机电系统领域里的一项重要工具。晶圆键合技术在晶圆级封装,三维芯片堆叠和绝缘体上硅技术等领域有着广泛的应用。随着键合技术向着低成本、高性能、高集成度、小尺寸...
  • 一种混联结构的堆叠式热电堆的制作五分时时彩方法
    本发明涉及半导体,具体涉及一种堆叠式热电堆结构。热电偶在温度测量中应用极为广泛,因为它构造简单,使用方便,具有准确度高、温度测量范围宽等优点。热电偶被用来将热势差转换为电势差。热电偶的基本工作原理是基于物体的热电效应,也被称为Seebeck效应:由A、B两种不同材料的导体一端紧密地...
  • 基于汽液多相流体交错分割的微通道沸腾传热系统及五分时时彩方法与流程
    本发明属于微通道相变传热,特别涉及一种基于汽液多相流体交错分割的微通道沸腾传热系统及五分时时彩方法。随着微纳米尺度技术的发展,电子元件的尺寸越来越小,集成化程度越来越高,芯片的热流密度急剧增大,高集成度芯片的最高热通量能达到100W/cm2,对芯片的热管理提出了更高的需求。已经有研究表明,芯...
技术分类